Medical Robotics · 半导体与光刻 创业公司

ASM International(

荷兰阿尔梅勒)

荷兰 · 原子层沉积 ALD 设备 · 该技术路线的开创者与领导厂商

原子层沉积薄膜设备半导体设备
Medical Robotics

产品线3

ALD 薄膜沉积平台

  1. Synergis

  2. 2007

    Pulsar

    率先把 ALD 推向 high-k 金属栅极量产

PEALD 等离子体增强平台

  1. EmerALD

方向: 半导体设备 / 薄膜沉积(ALD) 机构: ASM International,荷兰阿尔梅勒 简介: 全球原子层沉积(ALD)设备的领导厂商,2007 年率先把 ALD 从研发阶段推向高介电常数金属栅极(high-k metal gate)的量产应用,是这条技术路线的开创者。

产品线

Synergis、Pulsar、EmerALD 等热 ALD 与等离子体增强 ALD(PEALD)平台。

意义

ALD 是先进制程晶体管栅极和互连工艺里越来越关键的薄膜沉积技术,ASM 在这个细分设备市场处于事实上的领先地位。半导体设备这条线(ASML / Zeiss SMT / ASM International / Aixtron / imec)是整份调研中稀缺性最强的板块。

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